授课教师：005834,230543,070007

总学时：36

课程教材：《半导体工艺与测试实验》 谢德英 陈晖 黄展云 陈军等编，科学出版社 2015.3

先修课程：半导体物理学，半导体器件物理

主要参考书目：

《半导体物理学》 张宝材等编著 科学出版社 2020.11

[1]. 《半导体器件物理》 施敏等 西安交通大学出版社 第3版 2008.6

课程内容简介（中文）：本实验课程介绍了几种典型半导体材料参数、器件电学特性的表征与测量原理，及其测试技术应用。实验项目涵盖了半导体材料电阻率和掺杂浓度、载流子寿命与扩散长度、界面态密度、霍尔系数、迁移率等材料参数测量；电流增益、反向击穿电压、MOS阈值电压、PN结C-V特性等各种类型晶体管的器件电学特性参数的测试与分析。通过课程的学习，使学生巩固相关理论课程的知识，并对半导体材料与器件特性表征技术有较为全面的了解。

课程内容简介（英文）：