授课教师：190342

总学时：36

课程教材：谢德英，陈晖，黄展云，陈军 ，半导体工艺与测试实验，科学出版社，2018

先修课程：半导体物理，半导体器件物理，微纳电子器件

主要参考书目：

Dieter K. Schroder著，徐友龙等译，半导体材料与器件表征，西安交通大学出版社，2020

课程内容简介（中文）：半导体材料与器件特性表征实验以巩固学生所学半导体物理和半导体器件物理的基础知识为宗旨，实验主要涉及半导体禁带宽度、价带导带、电阻率、迁移率、导电类型、掺杂浓度、载流子寿命、缺陷浓度等。课程使学生牢固掌握半导体物理和半导体器件物理的基础知识，了解半导体材料测试的基本原理、方法和设备，使学生具备一定的从事半导体材料与器件研究的能力。

课程内容简介（英文）：