授课对象：

课程类别：专业选修课

课程门类：

总学时：54

课程教材：

先修课程:半导体物理、半导体器件、电子技术

参考书目：

《微机械电子系统及其应用（第二版）》主编：刘广玉，出版社：北京航空航天大学出版社，ISBN号   9787512414518，出版时间  2015-01-01。

课程简介：

 

本课程教学内容主要包括：微系统概述，微机电系统功能材料，微机械制造技术，微机械执行器，微机械传感器，微机械弱信号检测与处理。安排微加工实验课程包括：干法刻蚀、磁控溅射镀膜、紫外光刻技术等。

 

考核方式：考查

平时成绩50%：课堂报告（30%）+考勤（20%）